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CPS高精度納米粒度分析儀是一臺穩定高速、高分辨的納米顆粒測量儀器。該儀器適合測量 0.005 微米（也即 5 納米） 到 75um 微米范圍的粒度。

數據采集分析軟件采用全中文圖形用戶界面，方便用戶控制測試臺和記錄測量數據，支持手動或自動編譯其測試腳本程序。

F60薄膜厚度測量儀就像我們的 F50產品一樣測繪薄膜厚度和折射率，但它增加了許多用于生產環境的功能。 這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準確定、全封閉測量平臺、預裝軟件的工業計算機，以及升級到全自動化晶圓傳輸的機型。

主動式防震系統一些靈敏度很高的儀器可能是一個自然諧振頻率的被動系統，可以用主動隔振系統消除共振。

薄膜厚度測量儀：以F20平臺為基礎所發展的F10-HC薄膜測量系統，能夠快速的分析薄膜的反射光譜資料并提供測量厚度，加上F10-HC軟件的模擬演算法的設計，能夠在厚膜中測量單層與多層(例如：底漆或硬涂層等)。

主動式減震臺空間6自由度主動減振-擁有全頻段出色的抗振動效果，同時沒有共振，LCD-加速度時間波形顯示/加速度頻譜顯示。